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緊湊型質量流量控制器(MassFlowController)是基于業內的微機電(MEMS)流量傳感器芯片,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款更緊湊的氣體質量流量控制器產品。
MFC-UT系列智能化、緊湊型質量流量控制器(MassFlowController)是基于業內的微機電(MEMS)流量傳感器芯片,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款更緊湊的氣體質量流量控制器產品。
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