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流量控制器
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熱式流量控制器(MassFlowController)是基于業內先進的微機電(MEMS)流量傳感器芯片技術,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體流量控制器產品。該產品配備有進口電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等,具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點。
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